الذكاء الاصطناعي الصناعي وإنترنت الأشياء كشف الأعطال (Fault Detection) بيانات الحساسات (Sensor Data) موثّقة جزئياً

PHM Data Challenge 2016 - Semiconductor CMP

أسماء أخرى: PHM16، phmd:PHM15، PHM15

نظرة عامة

مجموعة بيانات PHM Data Challenge 2016 - Semiconductor CMP في مجال الذكاء الاصطناعي الصناعي وإنترنت الأشياء، نوع البيانات: سلاسل زمنية. عدد العينات المسجل: 1,994 (عدد الوحدات/التجارب (num_units) وفق phmd). المهام: Fault Diagnosis.

الوصف (من المصدر)

The dataset comprises measurements collected during multiple runs of a CMP (Chemical Mechanical Planarization) tool for specific wafers over time. Each row in the data represents a snapshot of all measurement variables at a particular time during the CMP process. The objective is to predict the average rate of material removal from the wafer based on these measurements.

المجال: الذكاء الاصطناعي الصناعي وإنترنت الأشياء (Industrial AI)
نوع البيانات: سلاسل زمنية
المهام: Fault Diagnosis
التخصصات الفرعية: كشف الأعطال (Fault Detection)، بيانات الحساسات (Sensor Data)
اللغات: غير متوفر
الوسوم: Production system، Industrial Plant

الإحصائيات والبنية

عدد العينات: 1٬994
عدد الفئات: غير متوفر
عدد الخصائص: 22
عدد المشاركين/الحالات: غير متوفر
عدد الصور: غير متوفر
عدد الملفات: غير متوفر
الحجم: غير متوفر
الصيغ: غير متوفر
القيم المفقودة: غير متوفر

ملاحظة العينات: عدد الوحدات/التجارب (num_units) وفق phmd.

الترخيص والوصول

الترخيص: Creative Commons Zero v1.0 Universal (CC0-1.0)
توثيق الترخيص: وارد في كتالوج (يحتاج تأكيداً من المصدر)
الاستخدام التجاري: نعم
إعادة التوزيع: نعم
اشتراط النسبة: لا
طريقة الوصول: زيارة المصدر
قيود الوصول: غير متوفر
شروط الاستخدام: غير متوفر

تنازل عن الحقوق وإهداء للملك العام؛ يسمح بأي استخدام دون اشتراط النسبة. نص الترخيص

راجع دائماً شروط الناشر الأصلي قبل الاستخدام؛ المستكشف لا يمنح أي ترخيص.

المصدر والتنزيل

المنصة: Publisher website
الناشر/المصدر: PHM Society / NASA
المعرّف في المصدر: phmd:PHM16
DOI: غير متوفر
مصدر البيانات الوصفية: phmd
آخر تحديث للبيانات الوصفية: 2026-11-14

الصفحة الأصلية phmsociety.org
مصدر البيانات الوصفية pypi.org

لا يستضيف المستكشف ملفات البيانات؛ كل الروابط تشير إلى الناشر الأصلي.

الأبحاث المرتبطة

لا توجد أبحاث موثقة مرتبطة بهذه المجموعة حالياً.

الاستشهاد بالمجموعة

مبني من الحقول المسجلة فقط؛ الحقول غير المتوفرة تُحذف ولا تُخمَّن. يُستحسن أيضاً الاستشهاد بالبحث الذي قدّم المجموعة إن وُجد.

APA 7

PHM Data Challenge 2016 - Semiconductor CMP [Data set]. (n.d.). PHM Society / NASA. https://phmsociety.org/conference/annual-conference-of-the-phm-society/annual-conference-of-the-prognostics-and-health-management-society-2016/phm-data-challenge-4/

IEEE

[1] "PHM Data Challenge 2016 - Semiconductor CMP," PHM Society / NASA, [Online]. Available: https://phmsociety.org/conference/annual-conference-of-the-phm-society/annual-conference-of-the-prognostics-and-health-management-society-2016/phm-data-challenge-4/

BibTeX

@misc{phmdatachallenge2016semiconductorcmp,
  title = {{PHM Data Challenge 2016 - Semiconductor CMP}},
  publisher = {PHM Society / NASA},
  url = {https://phmsociety.org/conference/annual-conference-of-the-phm-society/annual-conference-of-the-prognostics-and-health-management-society-2016/phm-data-challenge-4/},
  howpublished = {\url{https://phmsociety.org/conference/annual-conference-of-the-phm-society/annual-conference-of-the-prognostics-and-health-management-society-2016/phm-data-challenge-4/}},
  note = {Dataset. Accessed: 2026-11-14}
}

التحقق

حالة التحقق: موثّقة جزئياً
آخر فحص للروابط: لم يُفحص بعد
تاريخ التحقق من المصدر: غير متوفر
طريقة التحقق: Metadata parsed from the phmd (Prognostics and Health Management datasets) catalog package, version 2026.0.1.
ملاحظات: Licence and size are as recorded by the phmd catalog (a third-party catalog), not confirmed on the publisher page. Original URL not yet checked for availability. Also listed in: PHM Society - Crystec Technology Trading GmbH (phmd:PHM15).

مصدر كل حقل وتاريخ فحصه

الحقل	المصدر	التاريخ
original_url	phmd 2026.0.1 package metadata/PHM16.json (references.manual_download)	2026-11-14
description	phmd 2026.0.1 package metadata/PHM16.json	2026-11-14
license	phmd 2026.0.1 package metadata/PHM16.json	2026-11-14
number_of_samples	phmd 2026.0.1 package metadata/PHM16.json (tasks.*.num_units)	2026-11-14
number_of_features	phmd 2026.0.1 package metadata/PHM16.json (features)	2026-11-14